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光譜橢偏儀是一種高精度測(cè)量材料光學(xué)性質(zhì)的儀器，能夠定量地測(cè)量材料的折射率、厚度、表面形態(tài)等參數(shù)。它的工作原理是探測(cè)材料對(duì)偏振光的旋轉(zhuǎn)和二次波，進(jìn)而獲得材料的光學(xué)常數(shù)、薄膜厚度和表面結(jié)構(gòu)等信息。核心部分是光源、光偏振器、光軸調(diào)節(jié)器、樣品臺(tái)、光學(xué)檢測(cè)裝置。其工作流程通常是，光源所發(fā)出的偏振光經(jīng)過(guò)光偏振器、光軸調(diào)節(jié)器，照射到樣品表面，測(cè)量后的光子通過(guò)光學(xué)檢測(cè)裝置，轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，并經(jīng)過(guò)數(shù)據(jù)處理得到光學(xué)參數(shù)。其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)如下：光源系統(tǒng)：光源系統(tǒng)是基礎(chǔ)部分，通常采用白熾燈或氙燈作為光源，并...